为了不让人起疑,她还 “故意” 在原型设计中留了个小漏洞。初期陶瓷驱动电压不稳定,后来 “和团队一起” 调整了电压反馈电路才解决。
当晶圆台高速运转时,激光干涉仪显示振动值稳定在 0.03nm,吴教授拍着她的肩膀感叹:“小白,你这思路,比我们钻了五年牛角尖的还通透!”
最后一个 “光刻胶分辨率” 难题,是最棘手的。传统光刻胶曝光后容易收缩,3nm 电路总出现毛边。
白梦瑶想到星际光刻胶里的 “纳米晶须”,却换成了 L 国已有的 “碳纳米管”。
她提出:“在光刻胶里加表面改性的碳纳米管,能提升刚性,减少收缩。” 但碳纳米管容易团聚,她又 “借鉴” 星际材料处理工艺,提出 “等离子体接枝改性。”
接着她又提议:“用氧等离子体处理碳纳米管表面,增加和树脂的相容性。” 经过三十多次配方调整,新型光刻胶终于成功,3nm 电路图案清晰,良品率从 10% 飙升到 88%。
当团队用改进后的光刻机,在晶圆上刻出完整的 3nm 芯片电路时,距离白梦瑶加入课题刚满七个月。
吴教授拿着检测报告,在团队会议上反复说:“白梦瑶总能从我们忽略的角度找到突破口,这就是年轻科研者的创造力!”
没人会怀疑她,毕竟她的每一个方案,都能找到现有文献的理论支撑。
每一次调试都 “和团队一起” 解决问题,看起来就像个 “天赋异禀、善于思考” 的普通学霸。
转眼读研已经过去了一年,白梦瑶的研究生生涯已过半,她和吴教授团队研发的 3nm 光刻机技术,早已成功落地投产。
L 国多家芯片企业用上了这项技术,彻底摆脱了对国外高端光刻机的依赖,相关成果还入选了年度 “国家重大科技突破”。
3nm 光刻机研发成功的消息传到首都国防科技大学时,白蒹正在实验室调试新型雷达信号处理系统。
作为电子信息专业的尖子生,他不仅学业拔尖,还参与了学校与军工企业合作的 “智能通信终端” 项目。
这个项目需要一款超高精度的芯片,用来提升终端的信号传输效率,可市面上的芯片始终达不到要求。
“要是能有更精密的芯片就好了。” 白蒹对着屏幕上的信号波形叹气时,突然想起妹妹白梦瑶刚突破的 3nm 光刻技术,眼睛瞬间亮了。
妹妹研发的技术,说不定能解决芯片精度问题!他当即拿起手机,给白梦瑶打了个视频电话。
屏幕那头,白梦瑶刚结束实验室的复盘会议,脸上还带着些许疲惫,一看到哥哥的脸就笑了:“哥,怎么突然打电话?是不是想妈妈做的菜了?”
“菜当然想,但这次有正事找你。” 白蒹把项目困境跟妹妹说明,“我们项目需要 3nm 级别的专用芯片,你团队研发的光刻机,能不能支持这种定制芯片的生产?要是可以,我们说不定能促成学校和你们团队的合作。”
白梦瑶一听也来了兴趣,国防科大的项目涉及军工应用,对技术要求极高,刚好能检验 3nm 光刻机的实战性能。“我得跟吴教授商量下,但初步看没问题。对了,你们项目负责芯片对接的是谁呀?”
“是我们系的苏喆衍学长,他比我高一届,现在是项目核心成员,不光精通芯片设计,还在量子通信领域拿过国家奖项,特别厉害。” 白蒹提起苏喆衍,满是敬佩。
他接着说:“要是合作成了,我介绍你们认识,你们俩都是搞高精尖技术的,肯定有共同话题。”
一周后,合作意向正式敲定。
白梦瑶跟着吴教授去国防科大开会,白蒹特意等白梦瑶出来后带她去国防科大的科研楼,到那里的时候,走廊尽头的实验室里,苏喆衍正对着投影屏上的芯片电路图皱眉。
屏幕上标注的 “2.8nm 线宽误差” 红线,始终卡在合格线边缘。听到脚步声,他回头看来,眼神专注却不锐利,带着科研人特有的温和。
“喆衍学长,这是我妹妹白梦瑶,3nm 光刻机研发的核心成员。” 白蒹快步上前,自然地打破沉默,“梦瑶,这位就是我们项目负责芯片设计的苏喆衍学长,他设计的量子通信芯片,去年还拿了军队科技进步奖。”
长相英俊的苏喆衍站起来居然有1.8米的身高,他朝着白梦瑶伸出手,掌心干燥温暖,两人象征性地握了一下手。
就递来的芯片设计图,上面密密麻麻的标注透着严谨:“白同学,久闻你的 3nm 光刻技术突破。我们需要的这款军工芯片,不仅要控制 2.8nm 线宽,还得在边缘电路加抗干扰屏蔽层,你们的光刻机在异形结构光刻上,精度能达标吗?”
白梦瑶接过图纸,看了一下,视线落在屏蔽层标注处,语速平稳却精准:“抗干扰屏蔽层可以用分步光刻 + 金属沉积工艺实现,线宽误差我们能压到 2.5nm 以内,不过需要你们提供芯片的三维电磁场模拟数据,避免光刻时磁场干扰光源稳定性。”
她的回答没有多余铺垫,直接切中技术核心,让苏喆衍眼中闪过一丝认可。
他转身点开电脑里的模拟文件:“数据我已经整理好了,你看这个频段的磁场分布,会不会影响你们的 EUV 光源?”
两人凑在屏幕前,一个指着磁场峰值区域分析影响,一个拿着笔在图纸上标注光刻调整方案,连白蒹都插不上话。
直到学校的放学下课铃响了,苏喆衍才回过神,看向白梦瑶的目光多了几分欣赏:“没想到你对军工芯片的特殊需求这么了解,我们之前对接过的几家团队,都没考虑到磁场干扰的问题。”
白梦瑶笑着收起图纸:“刚好在光刻机研发时做过类似的抗干扰测试。后续有技术问题,我们可以随时沟通。”
走出科研楼时,白蒹笑着摸摸妹妹的头,调侃道:“我还担心你们第一次见面没话题,看来是我多虑了。” 白梦瑶想起苏喆衍讨论技术时眼里的光,嘴角不自觉地弯了弯,这个苏喆衍,确实和她很合拍。
这一年里,白梦瑶帮妈妈把安市的老房子卖了,又在首都给妈妈报了老年大学的插花班。
科研上,她跟着吴教授参与 3nm 技术的优化迭代,积累了大量 “从实验室到量产” 的实战经验。
晚上回家就进空间继续修炼《幻尘功德经》,她的神识比以前更加强大,她现在已经把书上的该修炼的功法全部融会贯通了,以后只要经常修炼就可以突破。
平时除了签到一直坚持,交换系统几乎都是是盘点十天交换一天,有时候实在太忙就让灵溪她们帮忙交换。
研究生毕业,白梦瑶被保送读博,她的导师居然还是吴教授。
后来,她才知道原来为了当她的导师,学校里的那些老教授都快吵翻天了,最后还是吴教授抢到了当她导师的资格。
这天午后,阳光透过办公室的百叶窗,照在吴教授的办公室桌上的技术文档上,投下了细碎的光影。
吴教授把她叫到办公室,他今天看着很高兴,镜片后的眼睛亮得像有光:“小白,3nm 总算稳了,我们该冲更高的了。国家刚批了 1nm 光刻机的预研项目,指定要我们团队牵头。你愿意接着当核心成员,跟我一起啃这块硬骨头吗?”
1nm 制程,这几个字落在耳里,白梦瑶太清楚这意味着什么:这是当前芯片技术公认的 “物理极限”,传统光刻技术在如此微小的尺度下,就像用粗毛笔描绣花针的纹路,几乎没有胜算。
可她脑海里,却清晰浮现出星际时代签到学过的 “极紫外光刻 + 量子隧穿辅助” 技术。
那套远超当下的技术体系,恰好能拆成 “现有技术可实现” 的步骤,像一把钥匙,刚好能打开眼前的锁。
但她不能说,她压下心头的波澜,上前接过文书,眼睛扫过 “1nm 预研项目立项书” 的黑体字。
语气沉稳:“吴教授,谢谢您的信任。我愿意接受新的挑战,我初步想,1nm 的核心难点应该在‘线宽突破’和‘材料耐受’吧?接下来我想先和团队一起梳理现有技术瓶颈,把问题拆解开逐个攻破。”
果然,第一次团队会议就陷入了僵局。投影仪上的 ppt 定格在 “1nm 技术难点” 页,红色的问号格外刺眼。“1nm 线路的宽度,也就相当于四个硅原子并排的直径,” 一位头发花白的老教授敲着桌子叹气,“传统 EUV 光刻的光衍射效应,会让线路边缘像晕开的墨,根本达不到精度要求。”
另一位年轻研究员紧跟着补充:“更麻烦的是材料,晶圆在 1nm 尺度下,电子会直接‘穿墙’,也就是量子隧穿效应,到时候电路漏电率根本控制不住。这两个问题,连台积电和三星的团队都卡着呢。”
会议室里的空气沉得像灌了铅,白梦瑶却缓缓抬起头说道:“或许我们可以在现有 EUV 光源基础上,加一个‘量子校正透镜’。用弱量子场抵消光的衍射,相当于给光线装个‘准星’,这样 1nm 线路的边缘就能更清晰。”