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实际上,深蓝半导体即便能够复刻250纳米光刻机,也只能用来改造已有的设备,很难以此技术制造售卖新的光刻机。

毕竟光刻机核心部件都是拥有专利技术的,深蓝半导体自己制造光刻机使用,别人不知道也就算了,若是敢售卖设备,肯定会被起诉。

现在沈院士愿意购买这套技术,楚千澜自然愿意出手,毕竟放在他手上也没有什么用处。

不过,这套技术毕竟是深蓝半导体技术人员花费大量时间复刻出来的,别人想要拿走,怎么也要付出相应代价。

沈院士闻言,眼中瞬间亮起,身体微微前倾:“技术定价确实是难题,但我们可以换种思路。由龙科院牵头,联合国内有需求的半导体设备厂商共同出资,以‘技术授权+后续支持’的模式合作。

你们提供全套复刻技术资料,我们负责协调厂商分摊费用,再配套一笔研发补贴,用于你们后续65纳米光刻机的拆解研究,你看如何?”

楚千澜指尖在茶几上轻轻敲击,心中快速权衡,但很快便摇头拒绝了。

“沈院士,我们深蓝半导体处境尴尬,现在并不适合出面。”

这套技术虽然对深蓝半导体并不重要,但他也不能公开售卖。否则跟直接公布多重曝光技术又有什么区别,都一样会引起海外芯片巨头的关注吗?

沈院士握着茶杯的手微微一顿,脸上的兴奋稍滞,随即反应过来楚千澜的顾虑。

他轻轻叹了口气,指尖在杯沿摩挲:“是我考虑不周,忘了你们还得避开海外资本的视线。”

办公室内陷入短暂的沉默,只有空调出风口传来细微的气流声。

沈院士目光扫过茶几上的深蓝半导体技术报告,忽然眼前一亮:“楚总,要不这样,深蓝半导体直接将技术卖给龙科院,后续工作由龙科院完成,遇到问题时,你们派遣工程师提供技术指导就行。”

楚千澜指尖停在茶几边缘,目光落在沈院士满是期待的脸上,心中快速盘算。

将技术卖给龙科院,既能避开海外资本的直接关注,又能借助官方渠道推动国产设备迭代,确实是当前最优解。

“卖给龙科院没问题,但有三个条件。”楚千澜抬眼,语气带着明确的底线,

“第一,深蓝半导体会授权几种专利给龙科院,而光刻机技术便是赠品。其中涉及的国外技术专利,你们自己解决,我方不负责。

第二,这套技术以后与我方无关,你们要绝对保密。即便后续技术指导,深蓝半导体员工也只会以龙科院名义进行。”

沈院士闻言,脸上瞬间绽开笑容,连忙点头:“这两个条件都能满足!龙科院会成立专项小组对接技术落地,所有对外信息都会统一口径,绝不会牵扯到深蓝半导体。”

他顿了顿,补充道,“至于技术费用,你看3亿如何?”

楚千澜指尖在茶几上轻轻一顿,去年拆解250纳米光刻机,所有费用加在一起,消耗也不足8000万,这还包括制作三号车间的那台250纳米光刻机。

龙科院愿意拿出3亿购买这套技术,深蓝半导体肯定是赚的。

当然,龙科院也不亏,仅仅这套技术的研究价值,就超过了这个数字。若是再将其售卖给多家公司,龙科院可以轻松收回成本。

“这个价格合理!”楚千澜点了点头,再次强调,“交易过后,这套复刻的技术便与深蓝无关!”

“放心!”沈院士重重点头,“龙科院会单独成立‘250纳米设备攻坚小组’,所有对外文件与会议记录都不会提及深蓝半导体。”

两人又围绕技术移交细节、部件研发进度节点聊了近半小时,沈院士才带着兴奋的神色前往深蓝半导体。

另一边,王世杰早已接到楚千澜的指令,将250纳米光刻机复刻技术的核心资料整理归档,从机械结构图纸到关键部件参数,每一份文件都标注得清晰明了。

不过,这些资料还不到拿出来的时候,现在只有部分技术目录以及摘要。

“沈院士,这是我们公司申请的10份专利,都是复刻250纳米光刻机时优化产生的。

按照楚总的要求,这些专利会永久授权给龙科院,授权费用3亿。至于250纳米光刻机的各种资料,则是此次交易的赠品。”

沈院士接过王世杰递来的专利清单,指尖快速扫过“精密导轨补偿算法”、“伺服电机动态校准程序”等核心专利名称,眼中的兴奋难以掩饰。

这些优化专利,恰好能绕过一部分国外光刻机的核心专利。

“仅仅这10项专利,价格也不菲啊!”沈院士合上清单,语气带着感慨,“我这就安排龙科院专项小组对接,等你们复刻的250纳米光刻机完成调试,我们就立即进行交易。”

拿到各种资料后,沈院士匆匆返回燕京,准备后续的交易事宜。

三月末,深蓝半导体彻底熟悉使用多次曝光技术生产45纳米芯片后,便进入了65纳米光刻机的拆解程序。

四月末的深蓝半导体二号车间,65纳米光刻机的拆解已进入关键阶段。

银白色的设备骨架孤零零矗立在中央,散落的核心部件按“光学系统”、“精密机械”、“电气控制”三大模块分类摆放。

每个零件旁都立着标注参数的标牌,几名工程师正根据女娲系统的指示,不停的测量部件的尺寸。

而在他们的隔壁,250纳米光刻机缺少的最后两个元件已经到位。安装过后,整条产线都进入联机调试阶段。

十几天后,在沈院士带领的几名技术人员关注下,250纳米光刻机完成第一次试产。这也预示着,深蓝半导体复刻250纳米光刻机项目的成功。

按照原先计划,双方快速达成交易,深蓝半导体获得3亿资金,相关资料也都交付给了龙科院。

此次交易做的非常隐秘,外界没有一点风声传出。

然而,很多事情都架不住有心人的关注。

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